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    反射膜厚仪

    更新时间:2020-08-12

    产品品牌:Semiconsoft

    产品产地:德国

    产品型号:MProbe系列

    产品描述:反射光谱干涉法是一种非接触式浙江快乐十二浙江快乐十二浙江快乐十二、无损的浙江快乐十二、快速的光学薄膜厚度测量技术浙江快乐十二浙江快乐十二。

    产品概述

    当一束光入射到薄膜表面时浙江快乐十二,薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉浙江快乐十二浙江快乐十二浙江快乐十二,干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关浙江快乐十二,反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度浙江快乐十二。

    反射光谱干涉法是一种非接触式浙江快乐十二、无损的浙江快乐十二、快速的光学薄膜厚度测量技术浙江快乐十二。

    测量范围: 1 nm - 1 mm

    波长范围: 200 nm -8000 nm

    光斑尺寸:2mum -3 um

     

    产品特点:

    a. 高的测量精度:0.01nm或0.01%

    b. 准确度:1nm或0.2%

    c. 稳定性:0.02nm或0.02%

    d. 强大的软件材料库浙江快乐十二,包含500多种材料的光学常数

    e. 通过Modbus TCP或OPC协议,与其他设备联用

    适用于实时在线测量浙江快乐十二,多层测量浙江快乐十二浙江快乐十二,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)浙江快乐十二浙江快乐十二,新材料可以很容易的添加浙江快乐十二,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

    大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量浙江快乐十二。比如:氧化物浙江快乐十二,氮化物,光刻胶浙江快乐十二,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅浙江快乐十二,多晶硅)浙江快乐十二,半导体化合物(AlGaAs, InGaAs浙江快乐十二,CdTe, CIGS)浙江快乐十二,硬涂层(碳化硅,类金刚石炭)浙江快乐十二,聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯浙江快乐十二浙江快乐十二,聚酰胺)

     

    标准配置中包含:

    1. 主机(光谱仪,光源浙江快乐十二浙江快乐十二,电线)

    2. 反射光纤

    3. 样品台及光纤适配器

    4. TFCompanion软件

    5. 校准套装

    6. 测试样品浙江快乐十二,200nm晶圆

    多种型号可选浙江快乐十二浙江快乐十二,每个型号对应不同的测量范围:

    测量n和k值,其厚度范围需在25纳米和5微米之间

     

    广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中:

    半导体晶圆,薄膜太阳能电池浙江快乐十二,液晶平板浙江快乐十二浙江快乐十二,触摸屛浙江快乐十二,光学镀膜浙江快乐十二浙江快乐十二浙江快乐十二,聚合物薄膜等

    半导体制造:· 光刻胶          · 氧化物        · 氮化物

    光学镀膜:· 硬涂层          · 抗反射涂层         · 滤波片

    生物医学:· 聚对二甲苯         · 生物膜厚度         · 硝化纤维

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